氦氣與氫氣一樣是難以被活性炭吸附的氣體，因此，氦氣的精制也是用活性炭從原料氣體中吸附氦氣以外的氣體后，把未吸附的氣體作為產(chǎn)品收集起來。氦氣是稀有氣體，價格很貴，氦氣精制主要應(yīng)用于吸附除去氦氣在循環(huán)使用過程中以雜質(zhì)形態(tài)而混入的空氣，提高再次循環(huán)使用的純度。通常在原氣體中的空氣含量為5%~10%，用壓力回轉(zhuǎn)吸附裝置將空氣含量降低到10*10-6以下，吸附槽至少有2個，吸附周期為5min，由于要避開高壓氣體管理法，吸附壓力多數(shù)小于10kg/c㎡。